“拓荆科技的等离子体增强化学气相沉积、原子层沉积及应用于三维集成领域的先进键合设备已达到国际先进水平。芯源微的前道涂胶显影设备已与光刻机联机运行，成为中高端涂胶显影机国内唯一的供应商。富创精密是国内精密零部件领军企业，也是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。”上述负责人表示。

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